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Workbench for the Nano World. dSPACE ツールを使用したナノポジショニングマシンの開発(イルメナウエ科大学)

筆者:
Arvid Amthor (Technische Universität Ilmenau), 
Eberhard Manske (Technische Universität Ilmenau), 
発行元: dSPACE Magazine 1/2009, Mar 2009

ムーアの法則が予測したように、半導体の集積密度はほぼ2 年毎に倍増しています。極微細な構造を処理するためには、各種ツールを規定の位置に高速で移動しそれを再現することができる精密なポジショニングマシンが必要です。ドイツにあるイルメナウ工科大学の研究チームが、ナノメートル単位の精度を持つ応用範囲の広いポジショニングマシンを設計しました。このマシンにdSPACE のハードウエアおよびソフトウエアが採用されています。



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